Московский институт электроники и математики 
Кафедра общей и физической химии
Зав. кафедрой  Е. Пожидаев

Экзаменационный билет № 1 по курсу "ФХОТЭС"
1.	Роль физико-химических процессов в технологии ЭС.
2.	Адсорбционное равновесие. Мономолекулярная локализованная 
адсорбция на однородной поверхности.

Экзаменационный билет № 2 по курсу "ФХОТЭС"
1.	Роль физико-химических процессов в технологии ЭС.
2.	Адсорбция из растворов.
 
Экзаменационный билет № 3 по курсу "ФХОТ ЭС"
 1.	Константа химического равновесия, ее выражения через равновесные 
давления, концентрации, активности.
2.	Адсорбция на границе раздела фаз. Поверхностно-активные вещества.

Экзаменационный билет № 4  по курсу "ФХОТ ЭС"
1.  Методы расчета констант равновесия для химических реакций по справочным
значениям стандартных термодинамических функций.
2.  Адсорбция на границе раздела фаз. Уравнение Гиббса.
 
Экзаменационный билет № 5 по курсу "ФХОТ ЭС"
1.	Равновесный состав реакционной химической системы. Равновесный 
выход продуктов химической реакции.
2.	Процессы очистки и промывки поверхности.

Экзаменационный билет № 6 по курсу "ФХОТ ЭС"
1.	Термодинамические расчеты процесса получения пленок диоксида 
кремния на поверхности монокристаллического кремния.
2.	Особенности электрохимических систем и процессов.

Экзаменационный билет № 7 по курсу "ФХОТ ЭС"
1.	Диаграммы состояния "Р-Т" однокомпонентных систем.
2.	Основы термодинамической теории электродвижущих сил и электродных потенциалов.

Экзаменационный билет № 8 по курсу "ФХОТ ЭС"
1.	Основное содержание метода физико-химического анализа. 
Термодинамический анализ.	
2.	Электрохимическое осаждение металлических пленок.


Экзаменационный билет № 9 по курсу "ФХОТ ЭС"
1.	Диаграммы плавкости двухкомпонентных систем.
2.	Жидкостное травление печатных плат.

Экзаменационный билет № 10 по курсу "ФХОТ ЭС"
1.	Кинетическая характеристика реакционных химических систем: 
понятия скорость и механизм химической реакции, математические выражения скорости реакции.
2.	Физическое распыление.

Экзаменационный билет № 11 по курсу "ФХОТ ЭС"
1.	Основной закон кинетики.
2.	Химическое взаимодействие активных частиц плазмы с 
поверхностью обрабатываемого материала.

Экзаменационный билет № 12 по курсу "ФХОТ ЭС"
1.  Константа скорости, порядок и молекулярность химической реакции. 
2.  Химически активные частицы в плазме.

 Экзаменационный билет № 13 по курсу "ФХОТ ЭС"
1.	Влияние температуры на скорость химических реакций, уравнение Аррениуса. 
Энергия активации реакции.
2.	Плазма фторированных и хлорированных углеводородов. Кислородная плазма.
  
Экзаменационный билет № 14 по курсу "ФХОТ ЭС"
1.	Линейная диффузия в бесконечном теле.
2.	Физико-химические механизмы ионно-химического и 
плазмохимического травления поверхности кремния и пленок диоксида кремния.

Экзаменационный билет № 15 по курсу "ФХОТ ЭС"
1.	Линейная диффузия в полубесконечном теле.
2.	Жидкостное травление печатных плат.
 

Экзаменационный билет № 16 по курсу "ФХОТ ЭС"
1.	Линейная диффузия в телах конечных размеров.
2.	Процессы очистки и промывки поверхности.